六氟化鎢(WF6)是一種強氟化劑，除鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化。在干燥狀態(tài)時對玻璃的腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應(yīng)。

六氟化鎢是鎢氟化物中唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種，主要用作電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積工藝的原材料，用它制成的WSi2 可用作大規(guī)模集成電路中的配線材料，另外還可以作為半導(dǎo)體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。WF6 在非電子方面的應(yīng)用:可通過CVD 技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢，以改善鋼的表面性能，還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。

世界上WF6生產(chǎn)主要集中在美國和日本，日本擁有世界上最大的WF6生產(chǎn)公司，而世界上最大的高純WF6生產(chǎn)商則在美國，純度可以達到99.9999 %，這種超高純產(chǎn)品的生產(chǎn)能力為40ta 。2005 年全球WF6的總生產(chǎn)能力約為1300ta ，年產(chǎn)量約為1000t。隨著世界電子工業(yè)的飛速發(fā)展,WF6的需求量呈現(xiàn)穩(wěn)定快速增長的勢頭。國內(nèi)還沒有產(chǎn)業(yè)化的生產(chǎn)企業(yè)，只有邯鄲凈化設(shè)備研究所等少數(shù)科研單位進行WF6產(chǎn)品的研發(fā)，早日實現(xiàn)WF6的國產(chǎn)化有著巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。